陜西儀誠實驗室設備有限公司成立于2012年，是北京東南儀誠實驗室設備有限公司在十三朝古都西安設立的陜西分公司，公司致力于國內外知名實驗室科研儀器和實驗室教學儀器的銷售推廣和售后服務，客戶涉及各大科研院所、高校、醫(yī)院、企業(yè)、第三方檢測和疾控，藥監(jiān)等政府職能部門。
等離子清洗機
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC510
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。
■操作性·功能
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
●標準配備數字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■安全性·保護
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■產品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型，發(fā)生器自動匹配，無需調節(jié)反射波，進一步增加的操作的便捷性。
●標準配備數字式皮拉尼傳感器，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品，無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。
■安全性·保護
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈，可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。
●裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。
■產品優(yōu)勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●對清洗樣品，沒有任何材質、外觀尺寸等要求。
●等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達到常溫處理。
●高效的特制電極，是產生均勻等離子體的保證。
●特制電極和托盤結構，可保證樣品可得到全面有效的清洗。
適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。
| 型號 | PDC510 |
|---|---|
| 等離子模式 | RIE/DP |
| 電極構造 | 平行平板（固定） |
| 高頻輸出 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 控制?顯示 | 液晶觸摸屏 |
| 反應室尺寸 | W500 x D300 x H200mm |
| 電極尺寸 | W400 x D200mm |
| 反應室材質 | 鋁 |
| 反應氣體 | 2系統（Ar、O2） |
| 填充氣體 | N2或干燥空氣 |
| 反應氣體流量控制 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 油泵（約500L/分）標配 |
| 氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 |
| 外形尺寸 | W700 x D700 x H1285mm |
| 重量 | 約 180kg |
| 電源 | 三相AC200V8A |
